| Module | Title | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Design elements of microsystems technology | Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 493669 | ||
| Mikrotechnische Konstruktion / Konstruktion in der Mikrotechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 462595 | |||
| Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Vorlesung/Übung | 459172 | Do 12:30-16:00 Extern (×15) | |||
| Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Vorlesung/Übung | 459172 | Do 12:30-16:00 Extern (×15) | |||
| Microsystems development | Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 493671 | ||
| Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 466794 | |||
| Ultra-Precision Technology I | Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 465990 | ||
| Ultra-Precision Technology II | Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 465999 | ||
| Ultrapräzisionstechnik II | Vorlesung | 458563 | Mo 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Di 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Mi 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Do 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Fr 09:00-17:00 t.b.d. (×1) | |||
| Ultrapräzisionstechnik II | Übung | 459164 |